Futurrex紫外正性光刻膠

簡要描述：Futurrex 成立于1985年，是美國光刻膠及輔助化學(xué)品制造商。產(chǎn)品以技術(shù)著稱，從2000年至今年均增長率為33%。主要客戶有：Ti、半導(dǎo)體、HP、SHARP、3M、Universal Display、ETC、LG、Qualcomm （高通）等。Futurrex長期與Intel實驗室合作，產(chǎn)品被廣泛收錄進美國各大學(xué)半導(dǎo)體教程，是各大研究機構(gòu)產(chǎn)品。

產(chǎn)品型號：PR1系列
廠商性質(zhì)：代理商
更新時間：2025-07-01
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光刻膠

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詳細(xì)介紹

Futurrex產(chǎn)品優(yōu)勢：

1、Futurrex光刻膠黏附性好，無需使用增粘劑（HMDS）

2、負(fù)性光刻膠常溫下可保存3年

3、150度烘烤，縮短了烘烤時間

4、單次旋涂能夠達(dá)到100um膜厚

5、顯影速率快，100微米的膜厚，僅需6~8分鐘

正性光刻膠

A、粘度增強正膠（PR1系列）

應(yīng)用：蝕刻、反應(yīng)離子刻蝕、離子注入、電鍍；

特征：PR1系列正膠耐熱溫度=110℃；

品牌	產(chǎn)地	型號	厚度	耐熱溫度	應(yīng)用
Futurrex	美國	PR1-500A	0.4μm～0.9μm	耐熱溫度=110 ℃	濕刻、反應(yīng)離子束刻蝕、離子植入、電鍍
		PR1-1000A	0.7μm～2.0μm
		PR1-1500A	1.3μm～3.0μm
		PR1-2000A	1.7μm~4.0μm
		PR1-4000A	3.7μm~10.0μm
		PR1-12000A	10.0μm~25.0μm
Micro Resist	德國	ma-P 1200系列	0.5～50μm膠厚	非常適合作為刻蝕掩模，的抗干刻、濕刻性能；優(yōu)異的電鍍性能（酸和堿性鍍液中的穩(wěn)定性）光刻膠圖案良好的熱穩(wěn)定性；堿性水溶液下顯影；寬帶、g或i線曝光

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