A4P四點探針自動電阻率測繪系統

A4P四點探頭采用100mm，150mm，200mm或300mm系統，無需維護且易于使用。該系統有多種選擇，包括寬范圍熱測試，非標準材料的定制卡盤和幾乎適用于任何應用的4點探針。

電阻率測量自動化軟件

A4P-200-PLUS自動化軟件允許使用電阻率測繪系統進行半自動或全自動測試。該接口設計簡單但功能*，允許用戶輕松設置幾乎任何類型晶圓結構的自動測試程序。基于LabView的軟件采用邏輯結構，可輕松集成客戶自己的測試和測量設備。該軟件可以安裝在任何裝有Windows XP或更高版本操作系統的PC上。

A4P四點探頭功能

系統提供快速，準確的測量并且非常用戶友好。

直觀的基于LabView的開源軟件提供各種數據處理選項以及結果的二維和三維映射。

可以表征的各種材料和結構。

寬電阻率測量和薄層電阻范圍。

溫度范圍：從低于-60°C到超過300°C。

可選擇1種，5種，9種，25種，49種或121種測量模式以及自定義電阻率測量模式。

可調式真空吸盤適用于5mm至300mm的樣品尺寸。

ASTM，SEMI或簡單輸出的快速測量模式。

點擊或點擊或直接坐標輸入晶圓導航。

與Jandel探頭兼容。

該系統的真空或受控環境版本可用于擴展溫度測試的電阻率測試。

自動化軟件功能

在大多數情況下，所有自動化，測量和數據采集都可以通過在簡單的筆記本電腦上運行的軟件包進行管理。

不需要昂貴的硬件。

軟件允許用戶生成測量圖案圖。

軟件允許用戶生成結果的2D和3D地圖。

軟件輸出電阻和電阻率或厚度測量值。

軟件輸出電阻和電阻率或厚度測量值。

軟件內置了熱卡盤的*控制，允許復雜且高度可定制的測試序列。

該軟件是開源的，客戶可以對其進行定制以滿足任何特定需求。

MicroXact團隊與客戶一起努力，盡快開發出的自動化解決方案。

A4P 4點探頭規格

A4P-200-TC

以下規格適用于標準配置。在大多數情況下，每個A4P 4點探針系統都可以定制，以超過這些值。

晶圓尺寸                 高達300mm

真空吸盤                  多區真空

兼容的探頭                Jandel探頭

饋通終端                  BNC，Triax或香蕉插頭

自動化軟件                基于LabView，與Windows兼容