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      AZ1500系列G線光刻膠

      簡要描述:AZ1500系列G線光刻膠高感光度標準G線正型光刻膠
      為廣泛應用于半導體制造領域而優化的高感光度G線正型光刻膠
      特征:
      1) 高感光度,高產出率
      2) 高附著性,特別為濕法刻蝕工藝改進
      3) 廣泛應用于*半導體行業

      • 產品型號:AZ1500(90cp)
      • 廠商性質:代理商
      • 更新時間:2025-08-04
      • 訪  問  量:1184

      詳細介紹

      高感光度標準G線正型光刻膠

      AZ1500系列G線光刻膠

      為廣泛應用于半導體制造領域而優化的高感光度G線正型光刻膠

      特征:

      1) 高感光度,高產出率

      2) 高附著性,特別為濕法刻蝕工藝改進

      3) 廣泛應用于*半導體行業

      AZ1500系列G線光刻膠參考工藝條件:

      前烘 :100℃ 60 (DHP)

      曝光 :G線步進式曝光機/接觸式曝光機

      顯影 :AZ300MIF (2.38%) 23℃ 60 Puddle

      清洗 :去離子水30

      后烘 :120℃ 120 (DHP)

      剝離 :AZ剝離液及/或氧等離子體灰化

      產品型號:AZ1500

      Viscosity:4.4mPa 20mPa 38mPa 90mPa

      AZ1500系列G線光刻膠 旋涂曲線:

      AZ1500系列i線光刻膠 圖案輪廓:






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