光譜橢偏儀顯微分光光度計

光譜橢偏儀顯微分光光度計

型號：SE-MSP

可通過橢圓偏振光度法在超薄膜上工作，并且還具有通過微反射法與橢圓度計和微分光光度計相結合的*配置的小面積微反射法。TFProbe 3.3版本軟件將處理測量和分析。

對于某些應用（例如MEMS或半導體產品晶圓上的功能），希望有一個小的探測點。將顯微分光光度計與橢圓偏振光度計集成在一起后，工具的功能將大大擴展。SE-MSP型是為此目的而設計的。MSP在反射法模式下工作，并以法向入射角進行測量，這是對非法向入射角SE設置的補充。SE和MSP的波長范圍可以根據應用需求進行不同配置。所有選項都是可選的。

應用范圍：

•半導體制造（PR，氧化物，氮化物..）

•液晶顯示器（ITO，PR，液晶盒間隙…..）

•法醫，生物膜和材料

•油墨，礦物學，顏料，碳粉

•藥品，醫療器械

•光學涂料，TiO2，SiO2，Ta2O5…..

•半導體化合物

•MEMS / MOEMS中的功能膜

•非晶，納米和晶體硅

特征：

•易于使用，基于Window的軟件進行操作

•*光學設計可實現*系統性能

•使用SExxxBA選項以0.001度的分辨率自動更改入射角

•高功率光源，適用于寬帶應用

•基于陣列的探測器系統可確保快速測量

•測量多層膜的厚度和折射率，允許用戶設計無限層的模型

•系統附帶全面的光學常數數據庫

••TFProbe 3.3軟件允許用戶為每膜使用NK表，色散或有效介質近似值（EMA）

•三種不同的用戶級別控制：工程師模式，系統服務模式和簡易用戶模式

•靈活的工程師模式，適用于各種配方設置和光學模型測試

•*的一鍵式按鈕解決方案，可進行快速和常規的測量

•可配置的測量參數，操作簡便

•全自動系統校準和初始化

•直接從樣品信號獲得精確的樣品比對接口，無需外部光學器件

•精確的高度和傾斜度調整

•適用于許多不同類型，厚度不同的基材

•各種選件，附件可用于特殊配置，例如測繪臺，波長擴展，焦點等

•2D和3D輸出圖形和用戶友好的數據管理界面

••用于微米區域選擇的數字成像工具

•集成反射計，用于小范圍內的反射測量

系統配置：

探測器：探測器陣列

波長范圍可配置為190至1700nm

光源：基于SE和MSP的波長范圍

入射角更改：自動，帶有程序設置

階段：手動或自動映射階段

軟件：TFProbe 3.3

SE和MSP結合

電腦：Intel i3處理器

顯示器：22英寸寬屏液晶

電源：通用110– 240 VAC / 50-60Hz，6 A