MicroXact手動探針臺

簡要描述：SPS-1000，SPS-2000和SPS-2200系統是MicroXact首要的手動探針臺，設計靈活且易于使用。這些手動探針系統的高性能和經濟性使它們屬于自己的一類。憑借高達200mm的晶圓功能，DC或RF探頭和可選的熱卡盤以及各種屏蔽選項，我們的探針臺可用于廣泛的應用，例如故障分析，可靠性測試，IV / CV測試，低目前的測試，微波和射頻表征等等。

產品型號：SPS手動系列
廠商性質：代理商
更新時間：2025-07-01
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探針臺

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詳細介紹

使用MicroXact手動探針臺進行IV，CV和低電流測試，可提供半導體器件表征所需的精確和精確測量。由于提供多種選項和MicroXact手動探針臺的靈活性，晶圓上的晶圓級電容和低電流測試從未如此簡單。

特征

手動平臺組裝可提供額外的預載滑塊，便于裝載和卸載晶圓或樣品。

手動控制壓板和卡盤Z位置，進行粗調和微調。

光滑的鑄鋼壓板可容納多達10個磁性或真空定位器。

同軸和三軸卡盤以及外殼可用于低泄漏電流測試。

標準吊桿安裝組件，用于顯微鏡的全范圍XYZ定位。

可用的高分辨率微定位器，帶80TPI螺釘，用于探針的μm級定位

可用的高分辨率微定位器，帶80TPI螺釘，用于探針的μm級定位。

可用的RF選項包括可定制的RF探頭，RF卡盤和屏蔽罩。

型號	SPS-1000	SPS-2000	SPS-2200
晶圓尺寸	高達150mm	高達100mm	高達200mm
XY舞臺行程	100mmx100mm或150mmx150mm標準	高達125mmx125mm	高達200mmx200mm
系統尺寸		56厘米寬x 51厘米深x 61厘米高	92米寬x 122厘米深x 92厘米高
系統重量		35kg至45kg，具體取決于所選的選項	~70公斤

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