快速退火爐需要定期的維護(hù)保證其能夠正常的操作

　　快速退火爐主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室，如：薄膜沉積，可在真空、不同氣氛、空氣不同環(huán)境下，對(duì)樣品進(jìn)行快速熱處理，不同材料快速退火、硅化、擴(kuò)散、晶化和致密化等。

　　快速退火爐維修注意事項(xiàng)：

　　1.快速退火爐*使用或長(zhǎng)時(shí)間不用后，要在120℃左右烘烤1小時(shí)，在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用，以免造成爐膛開(kāi)裂。爐溫盡量不要超過(guò)額定溫度，以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內(nèi)的清潔。

　　2.爐膛若采用石英管，當(dāng)溫度高于1000℃時(shí)，石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象，這叫失透（又叫析晶性）是連熔石英管的一個(gè)固有缺陷，屬正常現(xiàn)象。

　　3.冷爐使用時(shí)，由于爐膛是冷的，須大量吸熱，所以低溫段升溫速率不易過(guò)快，各溫度段的升

　　溫速率差別不易太大，設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì)，以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象，污染爐管。

　　4.定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好，應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點(diǎn)的連接是否緊固。

　　5.快速退火爐使用過(guò)一段時(shí)間后，若真空度降低，可分別更換不銹鋼法蘭盤之間的耐溫硅膠圈或重新安裝不銹鋼法蘭盤或更換修理真空系統(tǒng)，以提高系統(tǒng)的整體真空度。

　　6.快速退火爐在工作過(guò)程中，一般在300℃左右若控制偏差還不能消除，出現(xiàn)溫度顯示值與程序給定值不符或擺動(dòng)過(guò)大，檢查參數(shù)“M5、P、t”設(shè)置是否準(zhǔn)確。

　　7.快速退火爐適用于下列工作條件：

　　（1）環(huán)境溫度在-10～75℃之間。

　　（2）周圍環(huán)境的相對(duì)濕度不超過(guò)85%。

　　（3）快速退火爐周圍沒(méi)有導(dǎo)電塵埃，爆炸性氣體及嚴(yán)重破壞金屬和絕緣材料的腐蝕性氣體。

　　（4）沒(méi)有明顯的傾斜﹑振動(dòng)和顛簸。

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