EDC-650顯影機開機啟動適用工藝

　　EDC-650顯影機開機啟動適用工藝
　　
　　EDC-650顯影機是一種既可用于精密勻膠操作，又可用于半導體顯影和清洗的臺面式設備，它可以實現(xiàn)價值百萬美元設備的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性。
　　
　　EDC-650顯影機要注意的問題如下：
　　
　　①開機前就應該啟動顯影機給顯影液預熱，待顯影液溫度達到設定的溫度值再開始顯影。
　　
　?、诙ㄆ谇逑达@影槽和顯影槽中的各種膠輥，以避免印版帶臟、刮傷等現(xiàn)象的出現(xiàn)。
　　
　?、矍逑赐磕z的膠輥，以免膠輥干結(jié)從而對驅(qū)動電機造成損害。
　　
　?、茏⒁怙@影液的疲勞程度,及時地更換顯影液。
　　
　　EDC-650顯影機適用工藝（包括但不限于下述濕法制程）
　　
　　光刻膠顯影（KrF/ArF）
　　
　　SU8厚膠顯影
　　
　　顯影后清洗
　　
　　PostCMP清洗
　　
　　光罩去膠清洗
　　
　　光刻膠去除
　　
　　金屬Lift-off處理
　　
　　刻蝕微刻蝕處理